使用場景：此產品用于存儲高純度特種氣體（如SiH₄硅烷、PH₃磷化氫、NH₃氨氣、ClF₃三氟化氯等），并

                通過氣體管路輸送至機臺設備。

主要功能：

1.純度保障：氣體柜內壁采用316L不銹鋼或EP級拋光，防止氣體污染；

2.防泄漏設計：雙層殼體+負壓監測，泄漏率≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s；

3.壓力控制：集成壓力調節閥（MFC），維持恒定供氣壓力（如0.1-0.5MPa）。